1、適用范圍：
六槽清洗機(jī)、八槽清洗機(jī)的腐蝕清洗的生產(chǎn)。
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3、準(zhǔn)備工作
3.1、配制腐蝕液
3.1.1、八槽清洗機(jī)
按NaOH：H2O==100g:1L的比例的溶液注入第一槽，容量達(dá)到規(guī)定要求。
按HNO3：HF：H2O：15g：150g：1L的比例的溶液分別注入四、五、六槽容量達(dá)到規(guī)定要求。
3.1.2、六槽清洗機(jī)
按HF：HN4F:H2O==40g:5g：1L的比例的溶液注入第一槽，容量達(dá)到規(guī)定要求。
按HCL：H2O==100g：1L的比例的溶液注入第三槽，容量達(dá)到規(guī)定要求
按HCLH2O==30g：1L的比例的溶液注入第四槽，容量達(dá)到規(guī)定要求
3.2、確認(rèn)各槽清洗溫度設(shè)定及分布正常。
3.3、確認(rèn)各槽清洗狀態(tài)正常各槽內(nèi)注入規(guī)定的溶液正確。
3.4、確認(rèn)各槽控制系統(tǒng)工作正常程序準(zhǔn)確時間設(shè)定準(zhǔn)確。
3.5、確認(rèn)氮?dú)饬髁繛?L/min
4、操作過程：
4.1、確認(rèn)投入作業(yè)的硅片的型號、批號、數(shù)量、工序。
4.2、戴好一次性手套雙手將片子一片一片地插入片架內(nèi)。如果片子經(jīng)過超聲清洗過的片子就無需這樣做直接做下工序
4.3、用雙手操作將插滿硅片的片架按順序平穩(wěn)地放入清洗花籃內(nèi)。
4.4、用雙手將放有硅片的清洗花籃掛上機(jī)械手臂上。
4.5、再檢查一遍運(yùn)行程序正常符合工藝要求。按下“啟動”鍵程序開始運(yùn)行。
4.6、八槽清洗機(jī)運(yùn)行時隨時查看運(yùn)行狀況確保運(yùn)行正常。
4.7、程序運(yùn)行結(jié)束設(shè)備報(bào)警提示。
4.8、雙手操作取出清洗花籃。轉(zhuǎn)移到六槽清洗機(jī)的機(jī)械手臂上。
4.9、再檢查一遍運(yùn)行程序正常按下“啟動”鍵程序開始運(yùn)行。此步同八槽清洗機(jī)同步進(jìn)行
4.10、六槽清洗機(jī)運(yùn)行時隨時查看運(yùn)行狀況確保運(yùn)行正常。
4.11、程序運(yùn)行結(jié)束設(shè)備報(bào)警提示。
4.12、雙手操作取出清洗花籃放入專用推車上運(yùn)至甩干機(jī)傍做甩干。
4.13、按《八槽清洗機(jī)添加液規(guī)定》對八槽清洗機(jī)的一、四六槽添加清洗液
4.14、按《六槽清洗機(jī)添加液規(guī)定》對六槽清洗機(jī)的一、三、四槽添加清洗液
4.15、按3.13.11的步驟進(jìn)行下一輪的清洗。
4.16、正確填寫好隨件單及碎片表送下工序。
5、注意事項(xiàng)
5.1、操作時必須按酸、堿清洗要求穿戴好相關(guān)的個人防護(hù)用品。
5.2、檢查各槽的顯示溫度、時間要正確否則匯報(bào)工序負(fù)責(zé)人解決。
5.3、可不定期抽查絨面發(fā)現(xiàn)異常情況及時匯報(bào)有關(guān)人員及時解決保證暢通。絨面標(biāo)準(zhǔn)看樣本
5.4、操作時必須安全使用化學(xué)試劑及安全使用清洗機(jī)。
5.5、按規(guī)定每8小時檢測腐蝕液、清洗液的濃度根據(jù)檢測濃度及時調(diào)整添加腐蝕液、清洗液。
5.6、操作時注意六槽清洗機(jī)第一槽清洗時需避光操作。
5.7、注意推車上層只允許放清洗片下層可以放其它物品同時注意儲水桶內(nèi)的水及時倒掉、、、、保持車子的清潔。
5.8、每隔12小時更換腐蝕液、清洗液。
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