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加速

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? ? ? ?除了旋轉(zhuǎn)速度外，加速度也會影響涂膜的性能。由于樹脂在旋轉(zhuǎn)周期的第一部分開始干燥，因此準(zhǔn)確控制加速度非常重要。在某些過程中，樹脂中 50% 的溶劑會在過程的最初幾秒鐘內(nèi)蒸發(fā)掉。

? ? ? 加速在圖案化基材的涂層特性中也起著重要作用。在許多情況下，基材會保留先前工藝的地形特征；因此，重要的是在這些特征上和通過這些特征均勻地涂覆樹脂。雖然旋轉(zhuǎn)過程通常會向樹脂提供徑向（向外）力，但加速有助于樹脂在形貌周圍的分散，否則可能會遮擋部分基板與流體。Cee???微調(diào)器可編程，最大加速度為 30,000 rpm/秒（空載）。

排煙

? ? ? 樹脂的干燥速率由流體的特性以及旋轉(zhuǎn)過程中基材周圍的空氣決定。眾所周知，空氣溫度和濕度等因素在決定涂膜性能方面起著重要作用。在旋轉(zhuǎn)過程中，將基板本身上方的氣流和相關(guān)湍流最小化或至少保持恒定也非常重要。

? ? ? 所有 Cee???旋涂機(jī)均采用“封閉碗”設(shè)計。雖然實(shí)際上不是一個密閉的環(huán)境，但排氣蓋在旋轉(zhuǎn)過程中只允許最少的排氣。結(jié)合位于旋轉(zhuǎn)卡盤下方的底部排氣口，排氣蓋成為系統(tǒng)的一部分，以最大限度地減少不必要的隨機(jī)湍流。?

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? ? ? 該系統(tǒng)的顯著優(yōu)點(diǎn)是流體樹脂的干燥速度較慢。較慢的干燥速度提供了在基材上增加膜厚度均勻性的優(yōu)勢。流體在旋轉(zhuǎn)過程中隨著它向基板邊緣移動而變干。這會導(dǎo)致徑向厚度不均勻，因?yàn)榱黧w粘度隨距基材中心的距離而變化。通過減慢干燥速度，可以使整個基材的粘度保持更恒定。

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? ? ? 干燥速率和最終薄膜厚度也受環(huán)境濕度的影響。僅幾個百分比的相對濕度變化就會導(dǎo)致薄膜厚度發(fā)生很大變化。通過在封閉的碗中旋轉(zhuǎn)，樹脂本身中的溶劑蒸氣會保留在碗環(huán)境中，并且往往會掩蓋微小濕度變化的影響。在旋轉(zhuǎn)過程結(jié)束時，當(dāng)蓋子被抬起以移除基板時，保持完全排氣以容納和移除溶劑蒸汽。

? ? ? 這種“封閉碗”設(shè)計的另一個優(yōu)點(diǎn)是降低了對旋轉(zhuǎn)基材周圍氣流變化的敏感性。例如，在典型的潔凈室中，空氣以大約 100 英尺/分鐘 (30m/min) 的速度持續(xù)向下流動。多種因素影響該氣流的局部特性。湍流和渦流是這種高度氣流的常見結(jié)果。環(huán)境性質(zhì)的微小變化會導(dǎo)致空氣向下流動的劇烈變化。通過用光滑的蓋子表面關(guān)閉碗，從旋轉(zhuǎn)過程中消除了由于操作員和其他設(shè)備的存在而引起的變化和湍流。

過程趨勢圖

? ? ? 這些圖表代表了各種工藝參數(shù)的總體趨勢。對于大多數(shù)樹脂材料，最終膜厚將與旋轉(zhuǎn)速度和旋轉(zhuǎn)時間成反比。最終厚度也將與排氣體積成一定比例，但如果排氣流量過高則會影響均勻性，因?yàn)樵谛D(zhuǎn)過程中湍流會導(dǎo)致薄膜干燥不均勻。

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