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摘要

研究了兆聲波對(duì)300 mm直徑硅片濕法清洗槽中水和氣泡運(yùn)動(dòng)的影響。使用水溶性藍(lán)色墨水的示蹤劑觀察整個(gè)浴中的水運(yùn)動(dòng)。兆聲波加速了整個(gè)浴槽中的水運(yùn)動(dòng)，盡管沒有兆聲波時(shí)的水運(yùn)動(dòng)趨向于局部化。兆聲波產(chǎn)生的小氣泡的運(yùn)動(dòng)也被追蹤到整個(gè)晶片表面。兆聲波和水流增加了氣泡的傳輸速率。

介紹

? ? ? ?使用超純水、各種化學(xué)試劑和非常常見的兆聲波在濕法工藝之后清洗硅晶片表面.此外，兆聲波產(chǎn)生的微泡已經(jīng)用于各種清洗技術(shù)。因此，許多研究人員)已經(jīng)基于清潔的硅晶片表面的粒子水平評(píng)估研究了其有效使用的方法和條件。為了進(jìn)一步改善濕式清洗槽中的濕式清洗條件，水和氣泡在兆聲波作用下的運(yùn)動(dòng)應(yīng)該得到充分的澄清。盡管在著名的先前論文中已經(jīng)通過數(shù)值計(jì)算研究了兆聲波下的水流，但是使用可視化技術(shù)的實(shí)驗(yàn)研究應(yīng)該進(jìn)一步進(jìn)行。

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本文研究了在不同功率的超聲波作用下，水和氣泡在整個(gè)無載體濕法清洗槽中的運(yùn)動(dòng)。根據(jù)所得結(jié)果，討論了兆聲波的作用和影響。

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實(shí)驗(yàn)的

??圖1顯示了本文中使用的無載體濕式清洗槽的示意圖。該系統(tǒng)由一個(gè)槽、25個(gè)晶片(直徑300毫米)、三個(gè)晶片支撐桿和兩個(gè)水噴嘴組成。浴缸和水噴嘴由石英玻璃制成。晶片支撐桿由碳氟樹脂制成。在這項(xiàng)研究中，為了使水的運(yùn)動(dòng)可視化，將水溶性藍(lán)色墨水加入水中。藍(lán)色墨水的運(yùn)動(dòng)是用錄像機(jī)每60-90秒拍攝一次。使用連接到個(gè)人計(jì)算機(jī)的液晶投影儀產(chǎn)生的一片光來照亮浴池中小氣泡的運(yùn)動(dòng)；它是使用超級(jí)眼睛C2847和DVS-3000系統(tǒng)。

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圖1?使用兆聲波對(duì)300毫米直徑的晶片進(jìn)行濕法清洗?

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結(jié)果和討論

本文討論了1000瓦功率的兆聲波下的水運(yùn)動(dòng)。2 (d)、(e)和(f)，分別有7個(gè)、13個(gè)和25個(gè)晶片。藍(lán)色墨水在圖1中的分布。2 (d)顯示在中心和右側(cè)區(qū)域的晶片之間有五個(gè)快速流，在左端區(qū)域有一個(gè)慢速流。這表明中心和右側(cè)區(qū)域具有高的水流速度；左端區(qū)域的水流速度較低。這種趨勢(shì)類似于圖1和圖2。2 (a)至(c)。

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接下來，討論了兆聲波功率對(duì)水流的影響。圖3顯示了在藍(lán)色墨水進(jìn)入具有25個(gè)晶片的浴槽后2秒和4秒觀察到的墨水分布。兆聲波功率為0-1000瓦；水流速為15升/分鐘。圖。圖3 示出了在0 W的兆聲波功率下的墨水分布。在該圖中，墨水的頂部位置存在于稍微偏離中心位置的右側(cè)。在4秒鐘時(shí)，墨水的頂部到達(dá)浴缸的水面?？偟膩碚f，大部分墨水位于浴槽的右半部分。

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圖2

?結(jié)論

研究了兆聲波對(duì)300 mm直徑晶圓濕法清洗槽中水和氣泡運(yùn)動(dòng)的影響。使用水溶性藍(lán)色墨水作為示蹤劑觀察整個(gè)浴中的水運(yùn)動(dòng)。兆聲波顯示在整個(gè)浴槽中產(chǎn)生水的運(yùn)動(dòng)，盡管在沒有兆聲波的情況下水的運(yùn)動(dòng)趨向于局部化。在濕法清洗槽中由兆聲波產(chǎn)生的小氣泡也在整個(gè)晶片上和晶片支撐桿周圍的局部區(qū)域中被追蹤。這些氣泡被證明是由兆聲波和水流產(chǎn)生的力輸送的。

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