掃碼添加微信，獲取更多半導體相關(guān)資料

引言

作為光學部件的鏡頭，由于其光學特性，有各種各樣的硝種，被認為是不可能用水清洗的，同時，由于其量產(chǎn)化的計劃，無論如何都必須自動化，與大型照相機制造商共同研究，試制了光學鏡頭的超聲波自動清洗裝置，才確立了量產(chǎn)化。之后，鏡頭的自動清洗裝置大量銷售，并且通過清洗系統(tǒng)的改良、機構(gòu)的簡化、洗滌劑的開發(fā)、振動器的改良等，一直延續(xù)到現(xiàn)在。

?

實驗

就像光學透鏡一樣， 液晶玻璃， 磁盤， 磁磁頭 光掩膜等表面拋光的零部件的清洗， 已經(jīng)有人說，如果不使用超聲波清洗，就無法得到清潔面。當然， 超聲波清洗不是全部，與其他清洗方法的組合，洗滌劑的選擇，清洗系統(tǒng)的構(gòu)成，干燥系統(tǒng)的構(gòu)成等都是重要的因素，不要忘記。在原理上被認為是理所當然的。使用單一共振頻率的振子強制制造駐波， 相反，我們需要做的是， 如何使安裝有振動器的面有效地進行活塞運動。當然， 洗滌物， 如果進行機械性的搖擺運動，就會橫穿氣蝕發(fā)生區(qū)， 反而可以期待同樣的洗凈效果。

因此，與以往的使用空化的洗滌的想法不同。像這樣，超聲波洗滌有各種系統(tǒng)的組合方法，如果頻率、振動器輸入等不設(shè)定適當?shù)闹担礈煳锞蜔o法洗滌，反而會造成損傷，因此必須十分注意這些系統(tǒng)的選定。因此，本公司一旦有洗滌委托，就會請教其前工序，即附著了什么樣的污物，經(jīng)過什么樣的工序附著了污物，根據(jù)這些來決定洗滌系統(tǒng)。然后，進行實驗，判斷洗滌結(jié)果，進入該裝置的設(shè)計。這樣，洗滌系統(tǒng)的構(gòu)成非常復雜，關(guān)于該洗滌需要經(jīng)驗，而且由于包含了很多技術(shù)訣竅，所以洗滌被認為是最容易的，也是最難的。下面介紹各種超聲波自動洗滌裝置的洗滌工序、特征等。

氟利昂溶劑的大氣污染問題浮出水面， 因此，氟利昂溶劑受到限制，在清洗裝置的干燥工序中，氟利昂逐漸無法使用，因此，關(guān)于其干燥，代替氟利昂的溶劑在各溶劑制造商開始銷售，但是完全代替氟利昂的溶劑在現(xiàn)在看來很難。一部分超聲波清洗裝置制造商采取了封閉氟利昂的方式，即使勉強進行完全封閉也是一種方法。在測試例子中，有盤（3.5英寸，5英寸等）、陶瓷基板、液晶玻璃、塑料透鏡等。

為了解決磁性磁頭的加工過程復雜且精確的問題，并且必須在加工過程中進行各種洗滌。通過超聲波清洗剝離頭部，將頭部掉落到網(wǎng)中。當然，由于會產(chǎn)生劃痕的問題，所以設(shè)計轎廂是為了將各個頭部放入網(wǎng)框中。這是根據(jù)粘著劑的種類，可以用一種液體進行清洗干燥的情況，也可以用堿清洗進行剝離，用水清洗進行溶劑干燥的多槽式的情況。由于各公司的粘著劑各不相同，所以必須對剝離液進行討論。

抗滑動特性也很優(yōu)異。另外，薄膜磁頭輕，小，所以面向窄磁道，FDD用也批量生產(chǎn)了各種各樣的種類。

為了清洗這樣的各種磁頭，請注意前一工序中的污垢，籃子的形狀，超聲波的振動方向，頻率的選擇等的因素必須考慮洗滌液系統(tǒng)。特別是HDD用復合頭由于使用了一部分低熔點玻璃，如果在洗滌劑、純水等中浸泡最長時間的話會損壞，所以洗滌劑的種子類，有必要選定清洗和水的超聲波清洗時間。由于噴頭表面附著有研磨劑、蠟等，所以用溶劑除去，用下面的洗滌劑除去無機物，這與玻璃的清洗是一樣的。只是洗滌劑的效果好，必須容易水洗。

?

討論和總結(jié)

關(guān)于光學刮水器、玻璃、陶瓷等表面拋光面的清洗，我們只介紹了具有代表性的各種裝置、清洗工序，與半導體清洗精度的提高一樣，清洗精度也會進一步提高，與此同時，自動清洗裝置的完全自動化的要求也是近在咫尺。