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為了提高硅電池的效率，用氫氧化鉀和氫氧化鈉蝕刻溶液進(jìn)行紋理化，以降低電池表面的反射率，表面上具有各向同性的一般小圓提高了效率，但反射率提高。在低粗糙度的表面上提高了生產(chǎn)效率。本研究對單晶硅晶片進(jìn)行了表面組織化，分別為堿性溶液和酸性溶液，反應(yīng)后硅烷；研究了孔晶片表面的變化。

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圖1

圖1顯示出了Si硅晶片和由堿性溶液和酸性溶液進(jìn)行表面組織的樣品的反射率，在KOH蝕刻溶液中進(jìn)行表面組織的薄膜中反射率更低。表1給出了利用單晶硅晶片分別用2個KOH和NaOH蝕刻溶液進(jìn)行表面組織化的結(jié)果，在用KOH蝕刻溶液進(jìn)行表面組織的樣品中，效率較低。 圖1中的反射率在由KOH蝕刻溶液進(jìn)行表面組織的樣品中表現(xiàn)得更低，雖然KOH蝕刻溶液中的反射率較低，但效率卻很低，這表明除了高效能太陽能電池的反射率較低以外，還有必要找出提高效率的另一個原因。

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表1 硅太陽能電池的電性能

圖2為用KOH蝕刻溶液進(jìn)行表面組織的樣品表面放大3000倍的SEM照片，由于蝕刻速度隨硅晶片結(jié)晶方向的不同而變化，表面形成了各向異性的三角形金字塔形狀。 用NaOH蝕刻溶液進(jìn)行表面組織的樣品表面放大50000倍的SEM照片，表面整體上出現(xiàn)了細(xì)小的各向同性的圓形，比較直化結(jié)束的樣品的平坦度，可以看出KOH蝕刻與圖2比較時差異較大，可以確定，發(fā)生各向同性蝕刻的NaOH溶液所得樣品的平坦度要好得多，從表1中觀察與效率的相關(guān)性，采用NaOH溶液的樣品效率更高。

從以上結(jié)果考察反射率和單元表面平坦度，反射率與表面平坦度有關(guān)系，在表面粗糙的樣品中反射率降低。另一方面，在表面均勻的各向同性蝕刻樣品中，反射率相對較高，為了探討這種反射率的特性能在太陽能電池單元中產(chǎn)生多少電子，進(jìn)行了POCl3興奮劑工藝，利用屏幕打印機(jī)制備了電極，并對其電特性進(jìn)行了測定。

并給出了對表面組織化完成的樣品進(jìn)行PN結(jié)并完成太陽能電池測量的電特性的結(jié)果。 從表1也可以看出，在用NaOH蝕刻溶液進(jìn)行表面組織的樣品中效率較高，但如果你有短路電流，開路電壓在利用KOH蝕刻溶液的樣品中表現(xiàn)得更高。也比較了用KOH和NaOH蝕刻溶液表面組織的硅電池單元的電流特性，在KOH中，短路電流顯示的要高得多，而且從表1中可以看出開路電壓也高。

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圖7

圖7顯示了最大功率，最大功率在NaOH蝕刻溶液制備的單元中顯示得很高，最大功率與F.F關(guān)系密切，在NaOH所產(chǎn)生的各向同性蝕刻效應(yīng)中，效率較高，各向同性在表面整體上均勻地發(fā)生表面組織化，通常，在短路電流或開路電流較高的情況下，效率會增加。硅太陽能電池的表面組織化多采用KOH，KOH能夠組織化表面成金字塔狀，可以確定，在NaOH有機(jī)溶劑的作用下，表面可微組織的方法也可以提高效率。

實(shí)現(xiàn)硅太陽能電池高效率的因素有很多，提出了各種表面組織的方法，是實(shí)現(xiàn)高效率的重要因素之一。 本研究中，其中以濕法表面組織化方法，探討了酸性溶液各向同性蝕刻和堿性溶液各向異性蝕刻的情況，與效率的相關(guān)性，與各向同性蝕刻相比，各向異性蝕刻的短路電流和開路電流增加了更多，各向同性蝕刻比各向異性蝕刻增加了F.F元素的增加，確定了F.F尿素隨著表面組織的均勻和均勻程度而變化，確定了追求由增加表面整體均勻性帶來的F.F因素而非由增加短路電流或開路電壓帶來的高效化所帶來的高效化的一方，使效率更高的可能性較大，雖然最終短路電流的值也較低，但在F.F指數(shù)較高的各向同性蝕刻下的樣品中顯示的電量較高，效率也較高。