AR光波導

隨著光纖通信的飛速發(fā)展，作為光纖傳輸的理論基礎—光波導理論也趨于完善與系統(tǒng)化。光波導，因其輕薄和外界光線的高穿透特性而被認為是消費級AR眼鏡的必選光學方案，又因其價格高和技術門檻高讓人望而卻步。隨著主流AR設備微軟HoloLens2、Magic Leap One等對光波導技術的采用和設備量產，以及AR光學模組廠商DigiLens、耐德佳、靈犀微光等近期融資消息的頻繁披露，導致光波導的討論熱度也持續(xù)增加了不少。

光波導是如何工作的

其實，波導技術并不是什么新發(fā)明，我們熟悉的光通信系統(tǒng)中，用來傳輸信號的光纖組成了無數條連接大洋彼岸的海底光纜，就是波導的一種，只不過傳輸的是我們看不見的紅外波段的光。

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光波導是集成光學重要的基礎性部件，它能將光波束縛在光波長量級（微米納料級）尺寸的介質中，目前硅基/石英基沉積二氧化硅光波導晶圓是應用最廣泛的，雖然各種光波導晶圓工藝過程較為簡單，沒有半導體晶圓的套刻多層等工藝，但光波導晶圓由于要將光在波導中傳播，任何細小的微變都是使光傳播出現變化，目前國內外光波導晶圓生產都集中在生產四寸或六寸，這是由于晶圓越大，應力分布產生的翹曲使晶圓的良率不高從而無法進行生產，但是晶圓無論大小，生產過程的工藝步驟基本差不多，但單片大尺寸的晶圓的芯片顆粒大大多于單片小尺寸晶圓顆粒，所以大尺寸晶圓成本優(yōu)勢明顯，用大尺寸晶圓生產的芯片成本是小尺寸晶圓生產的芯片成本的幾分之一。

而硅片、晶圓是集成電路中廣泛使用的基底材料，因此其表面的清潔是制造中極為重要的環(huán)節(jié)，華林科納是一家濕制程設備專業(yè)制造商，已優(yōu)質的產品和服務贏得了各界用戶的贊賞和信賴。