近日由沈陽拓荊科技有限公司建設(shè)的我國首個(gè)半導(dǎo)體薄膜設(shè)備生產(chǎn)基地在沈陽市渾南區(qū)落成投產(chǎn)。該基地一期可容納1000人規(guī)模的研發(fā)制造團(tuán)隊(duì)，年產(chǎn)能可達(dá)100臺(套)，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)值15億元。全部達(dá)產(chǎn)后，年產(chǎn)能可達(dá)350臺(套)。

我國是全球最大的電子制造國。IC即集成電路是電子設(shè)備中最重要的組成部分，承擔(dān)著運(yùn)算和存儲的功能，是計(jì)算機(jī)、數(shù)字家電、通信等行業(yè)的“心臟”。據(jù)行業(yè)協(xié)會發(fā)布的數(shù)據(jù)顯示，去年，我國集成電路產(chǎn)業(yè)總營收達(dá)4335.5億元，同比增長20.1%。

沈陽拓荊科技是由海外技術(shù)專家組建的高新技術(shù)企業(yè)，創(chuàng)立于2010年4月。2015年，拓荊科技獲得國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金(簡稱“國家大基金”)2.7億元戰(zhàn)略投資，是“國家大基金”在遼寧投資的第一家企業(yè)。同年，拓荊科技新廠區(qū)在沈陽市渾南區(qū)破土動工。新廠區(qū)占地面積5.2萬平方米，擁有先進(jìn)的研發(fā)設(shè)備、場所及生產(chǎn)用十級、百級和千級無塵潔凈間，是我國首個(gè)半導(dǎo)體薄膜設(shè)備生產(chǎn)基地。

此前，該技術(shù)一直被發(fā)達(dá)國家壟斷，設(shè)備進(jìn)口嚴(yán)重受限，極大地制約了國產(chǎn)芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展。作為IC裝備核心裝備之一，該項(xiàng)目的建成一舉填補(bǔ)了國內(nèi)空白，顯著提升了我國集成電路產(chǎn)業(yè)整體競爭力。拓荊科技的產(chǎn)品性能、指標(biāo)達(dá)到國際一流設(shè)備水平，設(shè)備國產(chǎn)化率超過70%，產(chǎn)能是進(jìn)口設(shè)備的1.1倍，成本卻比進(jìn)口設(shè)備低了30%。

截至目前，拓荊科技已申請專利316項(xiàng)、授權(quán)專利103項(xiàng)，公司年產(chǎn)值始終保持100%以上的增速，現(xiàn)已成為國內(nèi)唯一能夠生產(chǎn)適用于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線的半導(dǎo)體薄膜設(shè)備供應(yīng)商。