設備型號

CSE-CDS-N2601

設計基準

1.供液系統(tǒng)（Chemical Dispense System System）簡稱：CDS

2. CDS?將設置于化學房內：酸堿溶液CDS?系統(tǒng)要求放置防腐性的化學房；

3. 設備材質說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構采以WPP 10T 板材，內部管路及組件采PFA 451 HP 材質；

4. 系統(tǒng)為采以化學原液?雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運送到制程使用點；

5. 過濾器：配有10”?PFA材質過濾器外殼；

6. 供液泵：每種化學液體配有兩臺或者一臺?PTFE材質的進口隔膜泵；

7. Empty Sensor & Level Sensor：

酸堿類采用一般型靜電容近接開關；

8. 所有化學品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。

CDS系統(tǒng)設備規(guī)格

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1. 系統(tǒng)主要功能概述

設備主要功能：每種化學液體配兩個桶（自動切換）、配兩臺泵（一用一備）、帶過濾器；

系統(tǒng)控制單元：配帶OMRON 8”彩色觸摸屏，OMRON品牌PLC系統(tǒng)；

2. 操作模式：

?CDS?系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內部流程控制，操作介面以流程方式執(zhí)行，

兼具自動化與親和力。

在自動模式情形下可自行達成供酸之功能。

在手動模式及維修模式底下可針對單一自動元件操作。

3. 設備結構：

（1）機架(Frame)：盤底SUS 方管50x50x1.5T 與機體以SUS 方管38x38x1.5T方管，全周焊架構而成，具有調整腳座。

（2）外觀：酸堿類系統(tǒng)的外觀以WPP 被覆。

（3）?箱體

(一)?箱體材質型式

供腐蝕性化學品用之材質為WPP/ 透明PVC。

(二)?閥體材質型式

.供腐蝕性化學品用之材質為PFA或PTFE。

(三)?泄漏偵測型式

采靜電容式或光電式，須能耐酸鹼之浸泡。

(四)?分流箱(VMB)必要設施說明

箱體外部須清楚標示其所輸送化學品之名稱與化學式。

?4. 設備內部空間規(guī)劃：

（1）配管區(qū)：管路流程整齊清楚，操作方便，具有防止噴濺及承接并排放泄漏功能。

（2）電控區(qū)：完全密封，可防止酸氣侵蝕電控元件。

（3）取樣區(qū)：取樣方便具有防止酸液噴濺及排放泄漏功能。

（4）桶槽區(qū)：方便更換桶槽，并有鏈條防止桶槽滑動，有正壓及排氣功能，保持區(qū)域內之潔凈度，下方有排放泄漏功能。

5. 電控系統(tǒng)︰

（1）空間規(guī)劃︰完全與酸氣隔離的獨立空間并有N2 Purge 功能，從后方有寬大維修空間。

（2）重要元件︰

PLC: OMRON

GP: 10” OMRON Touch

Empty Sensor & Level Sensor:采用靜電容近接開關

6. 附屬裝置:

（1）排氣裝置︰每一個Unit 皆配備排氣裝置

（2）每一個Unit 皆配備一組DIW GUN.

7. 安全保護裝置:

（1）漏電斷電斷路保護裝置

（2）機臺底部漏液檢知裝置

（3）電控箱正壓裝置

（4）E.M.O.裝置

8. 適用條件:

所有設備均應滿足以下條件;

裝置場所: 室內。

標高: 海平面1000 公尺以下。

環(huán)境溫度: 最高30℃，最低0℃，平均30℃。

相對濕度: 最大90 ﹪。

設備制造商

華林科納（江蘇）半導體設備有限公司 m.j4i44.cn?400-8768-096；18913575037