拋光液供液系統(tǒng)//拋光液供酸系統(tǒng)//拋光液供液設(shè)備//拋光液供酸設(shè)備

設(shè)備功能

1.提供拋光液和表面活性劑供應(yīng)緩存桶，從而保證設(shè)備工藝流量穩(wěn)定；

2.提供溫度，PH值控制，以滿足拋光設(shè)備的工藝需求；

3.滿足stock?slurry循環(huán)使用需求；

特點：

1.所有Tank箱體采用SUS304框架+米黃PVC?保管，需配置排氣，排液，排漏以及漏液檢測報警。

2.Tank材質(zhì)采用NPP或PVDF以上，管道使用PFA，選用材料對slurry無顆粒和金屬污染(包括Pump內(nèi)部與Slurry接觸部分)；

3.Stock slurry tank配置chiller(指定ORION CHILLER)和heater，

4.Tank內(nèi)的 Slurry 以及Surfactant處于常時循環(huán)狀態(tài)， 供應(yīng)設(shè)備管路末端有壓力表；

5.為檢測Tank內(nèi) Slurry 以及Surfactant的容量(Level)， 配置***個**液位傳感器；

6.所有Tank配置水槍，同時slurry桶上部能開啟，以方便沖洗Tank。

7.所有的 Tank內(nèi)要配置溫度和PH sensor，同時需要將數(shù)據(jù)同步傳送給設(shè)備主機；

8.Tank使用控制面板進行顯示和操作控制。

供液泵使用磁力泵或磁浮泵，滿足現(xiàn)場實際揚程，流量等能力需求。

9.?每個tank外部供應(yīng)管路配置有自動配送閥并由設(shè)備自我控制。

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