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雙腔甩干機
1. 應用范圍:
l?本機臺適用於半導體2”4”6”8”晶圓(含)以下之旋乾製程.
l?設備為垂直式雙槽體機臺，可同Run 50~100片.
l?可對旋乾步驟進行可程式化控制 (Recipe Program).
l?具使用在此設備已超過20年以上的應用馬達控制系統(tǒng)設計, 高穩(wěn)定度Rotor 設計, 震動值均控制於300 um 以下.
l?高潔淨設計,微塵控制於每次運轉增加量, 0.3um , 30顆以下.
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2. 操作流程
3. 圖示
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4. 規(guī)格
l?機臺內(nèi)皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件
l?直流式馬達: DC無刷馬達750W
l?真空負壓軸封設計，隔離槽外污染
l?不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μm
l?氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率< 200 °C ±10% (加熱棒本體)
l?壓力感測保護(加熱器空燒保護)
l?槽外貼Silicon材質(zhì)加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關90°C OFF 70°C ON)
l??Viton材質(zhì)充氣式氣囊及槽後密封環(huán),保持室外絕緣
l?不銹鋼槽體SS316經(jīng)拋光及電解研磨
l?單顆螺絲固定轉子，並按客戶需求指定使用訂做
l?轉子經(jīng)拋光及電解研磨，並做動態(tài)平衡校正
l?可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂
故障碼功能: 門鎖警告，氣體不足，傳動異常警告
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5. 電控系統(tǒng)
l??控制器操作介面: 7”記憶人機+ PLC可程式自動化控制器(人機 Touch Screen，整合介面) 。
l?軟體功能
??編輯/儲存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/，皆可從操作螢幕上修改。
??儲存能力
記憶模組:參數(shù)記憶,配方設定。
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6. 廠務需求
l?電力需求: AC220V單向?40A (2組電源)
l??DI:3/8” PFA Tube, 30~40 psi.
l??N2:1/2” PFA Tube, 30~40 psi.
l??CDA :1/4” Tube, 30~50psi.
l?Drain : 1-1/2” PVC Tube.
l?尺寸:480mm(W)x800mm(L)x1800mm(H)
?重量:205Kgs
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