?設備概況：（僅做參考）

主要功能：本設備主要手動搬運方式，通過對硅片腐蝕、漂洗、等方式進行處理，從而達到一個用戶要求的效果。
設備名稱：KOH? Etch刻蝕清洗機?????????? 設備型號：CSE-SC-NZD254
整機尺寸(參考)：自動設備約2500mm（L）×1800mm(W)×2400mm(H)；
被清洗硅片尺寸： 2--6寸（25片/籃）
設備形式:室內(nèi)放置型;
操作形式：手動

各槽位主要技術(shù)工藝：

設備組成：
該設備主要由清洗部分、抽風系統(tǒng)及電控部分組成
設備走向：方案圖按 “左進右出”方式，另可按要求設計“右進左出”方式；
設備描述：
此裝置是一個全自動的處理設備。
8.0英寸大型觸摸屏(PROFACE/OMRON)顯示 / 檢測 / 操作
每個槽前上方對應操作按鈕，與觸摸屏互相配合
主體材料：德國進口10mmPP板，優(yōu)質(zhì)不銹鋼骨架，外包3mmPP板防腐；
臺面板為德國10mm PP板；
DIW管路及構(gòu)件采用日本進口clean-PVC管材，需滿足18M去離子水水質(zhì)要求，酸堿管路材質(zhì)為進口PFA/PVDF；
采用國際標準生產(chǎn)加工，焊接組裝均在萬級凈化間內(nèi)完成;
排風：位于機臺后上部
工作照明：上方防酸照明
三菱、歐姆龍 PLC控制。
安全考慮：
設有EMO(急停裝置)，?
強電弱點隔離
所有電磁閥均高于工作槽體工作液面
電控箱正壓裝置（CDA Purge）
設備三層防漏? 樓盤傾斜?? 漏液報警? 設備整體置于防漏托盤內(nèi)
排放管路加過濾裝置
所有槽體折彎成型，可有效避免死角顆粒;

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