![關(guān)注：中芯、華力、長江存儲(chǔ)紛紛駛?cè)爰夹g(shù)深水區(qū)]( "關(guān)注：中芯、華力、長江存儲(chǔ)紛紛駛?cè)爰夹g(shù)深水區(qū)")
中芯國際、華力微、長江存儲(chǔ)今年將紛紛啟動(dòng)進(jìn)入1x納米以下制程技術(shù)的深水區(qū)，中芯國際明年上半14納米FinFET將風(fēng)險(xiǎn)試產(chǎn)，并推進(jìn)7納米研發(fā)進(jìn)程；上海華力Fab6未來也將成為14納米量產(chǎn)重要基地；長江存儲(chǔ)今年首顆大陸自主研發(fā)快閃存儲(chǔ)器芯片也將邁入量產(chǎn)，未來數(shù)月將進(jìn)入密集裝機(jī)期。據(jù)外媒報(bào)導(dǎo)，中芯國際已經(jīng)訂購了一臺(tái)EUV設(shè)備，首臺(tái)EUV設(shè)備購自ASML，價(jià)值近1.2億美元。EUV是當(dāng)前半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中最先進(jìn)也最昂貴的半導(dǎo)體制造設(shè)備，全球僅荷蘭設(shè)備商ASML供應(yīng)。EUV是未來1x納米繼續(xù)走向1x納米以下的關(guān)鍵微影機(jī)臺(tái)，包括英特爾、三星、臺(tái)積電等大廠都在爭搶購買該設(shè)備。設(shè)備供應(yīng)商ASML曾表示，一臺(tái)EUV從下單到正式交貨約長達(dá)22個(gè)月，若以中芯目前訂購來看，按正常交期也要2020年初左右才能到貨。按照中芯國際的技術(shù)藍(lán)圖規(guī)劃，2019年上半肩負(fù)14納米FinFET將風(fēng)險(xiǎn)試產(chǎn)任務(wù)，若2020年順利取得EUV，將可進(jìn)一步向前推進(jìn)至7納米。而目前研發(fā)團(tuán)隊(duì)最高負(fù)責(zé)人、中芯國際聯(lián)席CEO梁孟松則扮演先進(jìn)技術(shù)藍(lán)圖規(guī)劃的推手。盡管中芯目前在制造制程上仍落后于臺(tái)積電等市場(chǎng)領(lǐng)導(dǎo)者2~3代，但此舉已經(jīng)凸顯了中芯在研發(fā)團(tuán)隊(duì)重整旗鼓之后的雄心，此時(shí)下單EUV也屬正當(dāng)其時(shí)。不過下單歸下單，未來技術(shù)挑戰(zhàn)仍擁有幾大內(nèi)外變數(shù)考驗(yàn)，一是先進(jìn)高階設(shè)備的進(jìn)口能否順利進(jìn)入大陸；二是設(shè)備啟動(dòng)的上海能否給予充足的電力供給；三是順利裝機(jī)之后設(shè)...
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![新聞關(guān)注：大唐微電子可信識(shí)別與存儲(chǔ)項(xiàng)目獲評(píng)公安部國家工程實(shí)驗(yàn)室重點(diǎn)項(xiàng)目]( "新聞關(guān)注：大唐微電子可信識(shí)別與存儲(chǔ)項(xiàng)目獲評(píng)公安部國家工程實(shí)驗(yàn)室重點(diǎn)項(xiàng)目")
2018年5月，公安部一所“多維身份識(shí)別與可信認(rèn)證技術(shù)國家工程實(shí)驗(yàn)室”發(fā)布2018年度科研項(xiàng)目評(píng)審結(jié)果，由大唐電信旗下大唐微電子技術(shù)有限公司申報(bào)的“基于多維生物識(shí)別技術(shù)的終端安全芯片和平臺(tái)安全存儲(chǔ)芯片及其系統(tǒng)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”科研項(xiàng)目被評(píng)為該國家工程實(shí)驗(yàn)室重點(diǎn)項(xiàng)目?！岸嗑S身份識(shí)別與可信認(rèn)證技術(shù)國家工程實(shí)驗(yàn)室”于2016年11月15日獲得國家發(fā)展改革委批復(fù)立項(xiàng)，公安部第一研究所為項(xiàng)目法人單位，共建單位包括清華大學(xué)、中國人民銀行印制科學(xué)技術(shù)研究所、中國科學(xué)院信息工程研究所、中國信息通信研究院、中國科學(xué)院自動(dòng)化研究所、華大半導(dǎo)體有限公司、大唐微電子技術(shù)有限公司（以下簡稱大唐微電子）、北京遠(yuǎn)鑒科技股份有限公司。2017年底，實(shí)驗(yàn)室面向所有共建單位征集了22個(gè)科研項(xiàng)目，經(jīng)過評(píng)審，僅有4個(gè)項(xiàng)目被列為重點(diǎn)項(xiàng)目。大唐微電子獲評(píng)的該芯片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目是唯一的芯片類重點(diǎn)項(xiàng)目。大唐微電子 “基于多維生物識(shí)別技術(shù)的終端安全芯片和平臺(tái)安全存儲(chǔ)芯片及其系統(tǒng)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”科研項(xiàng)目可以解決數(shù)據(jù)采集、身份識(shí)別、安全環(huán)境、安全傳輸和安全存儲(chǔ)等環(huán)節(jié)的安全難題，其芯片工藝、功能、性能、安全性等均達(dá)到國內(nèi)、乃至國際級(jí)領(lǐng)先水平。該項(xiàng)目結(jié)合終端設(shè)備和服務(wù)器后臺(tái)可實(shí)現(xiàn)多行業(yè)可信識(shí)別的產(chǎn)業(yè)化落地，有利于提升國內(nèi)可信識(shí)別產(chǎn)品安全水平，提升國家在國密安全存儲(chǔ)控制芯片領(lǐng)域的競爭力，進(jìn)一步推動(dòng)存儲(chǔ)控制芯片國產(chǎn)化進(jìn)程。大唐微電子在安全芯片領(lǐng)域擁有二...
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2019年3月20-22日 ，SEMICON China 2019展覽會(huì)將在上海新國際博覽中心盛大開幕。在這一年一度的半導(dǎo)體行業(yè)盛會(huì)上，我們將展示最新的產(chǎn)品及最前沿的技術(shù)，并期待與業(yè)界專家交流市場(chǎng)商機(jī)，洽談合作機(jī)會(huì)。在此，華林科納誠摯邀請(qǐng)您蒞臨我們的展位！華林科納展位號(hào) 【5584】▲華林科納展位號(hào) 5584重點(diǎn)主推產(chǎn)品濕法清洗系統(tǒng)、刻蝕系統(tǒng)、CDS系統(tǒng)、尾氣處理系統(tǒng)的四大系列數(shù)十種型號(hào)的產(chǎn)品時(shí)間：2019年3月20-22日地址：上海新國際博覽中心N5華林科納展位號(hào)：5584與 您 不 見 不 散 ！
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據(jù)知情人士透露，中國最大的晶圓代工廠中芯國際已經(jīng)訂購了一臺(tái)EUV設(shè)備，在中美兩國貿(mào)易緊張的情況下，此舉旨在縮小與市場(chǎng)領(lǐng)先者的技術(shù)差距，確保關(guān)鍵設(shè)備的供應(yīng)。EUV是當(dāng)前半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中最先進(jìn)也最昂貴的芯片制造設(shè)備。中芯國際的首臺(tái)EUV設(shè)備購自荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備制造商ASML，價(jià)值1.2億美元。盡管中芯目前在制造工藝上仍落后于臺(tái)積電等市場(chǎng)領(lǐng)導(dǎo)者兩到三代，此舉仍突顯了該公司幫助提升中國本土半導(dǎo)體制造技術(shù)的雄心壯志，也保證了在最先進(jìn)的光刻設(shè)備方面的供應(yīng)。目前包括英特爾、三星、臺(tái)積電等巨頭都在購買該設(shè)備，以確保在此后的先進(jìn)工藝中能制造性能更強(qiáng)大、設(shè)計(jì)更領(lǐng)先的芯片。目前，臺(tái)積電、英特爾、三星等公司都訂購了ASML的EUV設(shè)備。據(jù)供應(yīng)鏈消息人士透露，臺(tái)積電今年已預(yù)訂了多達(dá)10臺(tái)該設(shè)備，三星預(yù)訂了大約6臺(tái)，英特爾在今年則預(yù)計(jì)需要3臺(tái)，全球第二大代工廠格芯也預(yù)訂了一臺(tái)。ASML在4月中旬的財(cái)報(bào)中表示，計(jì)劃在今年內(nèi)出貨20臺(tái)EUV設(shè)備，但沒有指明采購者詳情。知情人士透露，中芯國際是在4月份美國宣布對(duì)中興制裁的第二天下的訂單。他表示，中芯國際購買該價(jià)格不菲的設(shè)備獲得了來自政府背景基金的部分資助，這臺(tái)EUV設(shè)備成本與中芯去年的凈利潤1.264億美元大致相當(dāng)。消息顯示，中芯預(yù)定的EUV預(yù)計(jì)在2019年初交付。長期以來，中國進(jìn)口前沿芯片制造設(shè)備一直受到限制。業(yè)內(nèi)皆知的瓦森納協(xié)定是一種建立在自愿基礎(chǔ)上的集團(tuán)性出口控制機(jī)...
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實(shí)驗(yàn)室常用的改進(jìn)的RCA 清洗工藝1.水中超聲清洗：灰塵、殘余物去除2.濃硫酸、濃硫酸+雙氧水：表面污染（有機(jī)物、重金屬、微粒） BHF去除氧化層 （to 疏水性）3.堿洗（雙氧水、氨水、水）：顆粒、有機(jī)物去除 BHF去除氧化層 （to 疏水性）4.酸洗（雙氧水、鹽酸、水）：微粒、金屬去除 BHF去除氧化層 （to 疏水性）5.超純水淋洗：去除離子設(shè)備組成： 中央控制系統(tǒng)及晶圓輸入端 串聯(lián)式化學(xué)酸槽、堿槽及洗滌槽 檢測(cè)系統(tǒng)，包括流量監(jiān)測(cè)，溫度檢測(cè)，酸槽化學(xué)濃度校準(zhǔn) 旋轉(zhuǎn)、干燥設(shè)備華林科納（江蘇）專業(yè)生產(chǎn)半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備包括RCA清洗設(shè)備，兆聲清洗設(shè)備，超聲清洗設(shè)備，更多詳情可以關(guān)注http://m.j4i44.cn/ ，400-8768-096
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![關(guān)注：國產(chǎn)8英寸半導(dǎo)體級(jí)單晶硅片將實(shí)現(xiàn)“寧夏產(chǎn)”]( "關(guān)注：國產(chǎn)8英寸半導(dǎo)體級(jí)單晶硅片將實(shí)現(xiàn)“寧夏產(chǎn)”")
記者日前從銀川經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)了解到，寧夏銀和半導(dǎo)體科技有限公司8英寸半導(dǎo)體硅片項(xiàng)目進(jìn)入設(shè)備裝配期，8英寸半導(dǎo)體級(jí)單晶硅片將于6月份試生產(chǎn)。芯片制造主要分為硅片制備、芯片制造、芯片測(cè)試與挑選、裝配與封裝、終測(cè)五大環(huán)節(jié)，硅片制備是第一個(gè)環(huán)節(jié)，硅片質(zhì)量對(duì)于后續(xù)芯片制造至關(guān)重要。相當(dāng)長的一段時(shí)間內(nèi)，大尺寸硅片主要由美日德等原設(shè)備供應(yīng)商供應(yīng)，國內(nèi)沒有成熟的生產(chǎn)鏈。銀和半導(dǎo)體大硅片項(xiàng)目建成后，可彌補(bǔ)國內(nèi)生產(chǎn)半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)、汽車、計(jì)算機(jī)、消費(fèi)電子、通訊、工業(yè)、醫(yī)療和國防等產(chǎn)業(yè)對(duì)8英寸半導(dǎo)體級(jí)單晶硅片需求，保證國內(nèi)市場(chǎng)供應(yīng)硅片安全性及集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的完整和穩(wěn)定。同時(shí)，降低我國對(duì)高品質(zhì)半導(dǎo)體硅片的進(jìn)口依賴，大幅降低成本并增加產(chǎn)業(yè)競爭力，滿足我國集成電路產(chǎn)業(yè)對(duì)硅襯底基礎(chǔ)材料的迫切要求?！拔覀円蜒邪l(fā)了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的40－16nm制程8英寸半導(dǎo)體拋光片制造技術(shù)，并實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化?！睂幭你y和半導(dǎo)體科技有限公司行政總經(jīng)理浩育洲說。公司將通過開展高品質(zhì)半導(dǎo)體硅片的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，建成國際先進(jìn)水平的大尺寸半導(dǎo)體硅片產(chǎn)業(yè)化、創(chuàng)新研究和開發(fā)基地。6月份試投產(chǎn)后，可年產(chǎn)420萬片8英寸半導(dǎo)體級(jí)單晶硅片，項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后，年銷售收入10億元。近年來，銀川經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)先后引進(jìn)了一批在國際國內(nèi)有重大影響的新材料產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目，建成世界知名的單晶硅生產(chǎn)基地、國內(nèi)最大的工業(yè)藍(lán)寶石生產(chǎn)基地，正在成為國內(nèi)重要的戰(zhàn)略性新興材料生產(chǎn)基地。一季...
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RCA清洗工藝是一種在半導(dǎo)體制造過程中被廣泛應(yīng)用的工藝,是去除硅片表面各類玷污的有效方法。華林科納（江蘇）的工程師在本文中簡單介紹了RCA清洗工藝的原理及應(yīng)用。 隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體器件和集成電路內(nèi)各元件及連線越來越微細(xì)，因此制造過程中，塵粒、金屬等的污染，對(duì)晶片內(nèi)電路功能的損壞影響越來越大。因此在制作過程中除了要排除外界的污染源外，集成電路制造工藝過程中均需要對(duì)硅片表面進(jìn)行清洗，以有效地使用化學(xué)溶液清除殘留在硅片表面上的各種雜質(zhì)。 硅片是半導(dǎo)體器件和集成電路中使用最廣泛的基底材料，對(duì)其表面的清洗是整個(gè)硅片制造工藝中極為重要的環(huán)節(jié)之一。半導(dǎo)體領(lǐng)域中的濕式清洗技術(shù)是伴隨設(shè)備的微小化及對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量要求的不斷提高而提高的，是以 RCA 清洗技術(shù)為基本的框架，經(jīng)過多年的不斷發(fā)展形成。完全清潔的基片表面是實(shí)現(xiàn)高性能處理的第一步。如果基底表面不完全清潔，其他處理無論如何控制也達(dá)不到高質(zhì)量的要求。 目前在國內(nèi)，對(duì)硅片表面進(jìn)行化學(xué)清洗的設(shè)備比較多，但大多屬于手動(dòng)設(shè)備，在實(shí)際應(yīng)用過程中存在工藝一致性差、效率低下、無法適應(yīng)大批量生產(chǎn)等缺點(diǎn)。國外進(jìn)口的全自動(dòng) RCA 清洗機(jī)雖然性能優(yōu)越，但售價(jià)非常昂貴，使眾多半導(dǎo)體生產(chǎn)廠家望而卻步。鑒于此，華林科納（江蘇）CSE自主獨(dú)立開發(fā)了全自動(dòng)半導(dǎo)體RCA 清洗機(jī)，經(jīng)過試驗(yàn)和用戶使用驗(yàn)證，完全能達(dá)到用戶的使用要...
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中國有意在半導(dǎo)體行業(yè)成為全球領(lǐng)導(dǎo)者。為實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)，中國正在尋求國外資金的投資。在美國萬般阻撓中國稱霸下一代技術(shù)野心之背景下，這一亞洲大國的新舉措著實(shí)出乎人意料。部分是為了減少對(duì)國外技術(shù)的過分依賴，中國政府成立了一個(gè)基金，目標(biāo)融資2000億元人民幣（約合317億美元）來支持從處理器設(shè)計(jì)商到設(shè)備制造者等一系列國內(nèi)企業(yè)。中國科技行業(yè)監(jiān)管機(jī)構(gòu)本周三表示，“國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司”（業(yè)內(nèi)簡稱“大基金”）將接受國外的投資?！霸搰一鸬诙A段的主要目標(biāo)仍然是融資。我們歡迎國外企業(yè)的加入。”工業(yè)和信息化部（工信部）總工程師兼發(fā)言人陳因解釋道。最近全球兩大經(jīng)濟(jì)體——美國和中國——之間的紛爭核心所在便是半導(dǎo)體。兩國糾紛不僅使得關(guān)稅高漲，也使得中國在美國企業(yè)的投資減少，并給中國從第五代無線通訊到人工智能等的科技發(fā)展帶來重?fù)簟Ｃ绹诳紤]動(dòng)用1977年法律。根據(jù)這項(xiàng)法律，唐納德·特朗普總統(tǒng)或可宣布進(jìn)入國家緊急狀態(tài)，以便阻止交易和沒收資產(chǎn)。隨著美國將中興通訊列入黑名單七年，北京再一次猛然意識(shí)到中國迫切需要減少自己對(duì)美國技術(shù)的依賴。針對(duì)中興的舉措反而刺激了中國現(xiàn)有的計(jì)劃——在未來十年內(nèi)投資1500億美元，逐步搶占芯片設(shè)計(jì)和制造領(lǐng)域的領(lǐng)先地位。美國高管和官員們?cè)啻翁嵝?，中國的這一野心或可損害美國利益。目前，中國每年的半導(dǎo)體進(jìn)口額約為2000億美元——差不多和石油進(jìn)口額齊平。中國...
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一．簡介 兆聲清洗是運(yùn)用在半導(dǎo)體清洗設(shè)備中的一種比較新穎清洗技術(shù)，它不僅保存了超聲波清洗的優(yōu)點(diǎn)，而且克服了它的不足，它是由高頻（900khz 可根據(jù)實(shí)際使用來定）振效應(yīng)并結(jié)合化學(xué)清洗劑的化學(xué)反應(yīng)對(duì)硅片進(jìn)行清洗的。在清洗時(shí)，由換能器發(fā)出波長為1μm頻率為0.8兆赫的高能聲波。溶液分子在這種聲波的推動(dòng)下作加速運(yùn)動(dòng)，最大瞬時(shí)速度可達(dá)到30cm/s。因此，形成不了超聲波清洗那樣的氣泡,而只能以高速的流體波連續(xù)沖擊晶片表面,使硅片表面附著的污染物的細(xì)小微粒被強(qiáng)制除去并進(jìn)入到清洗液中。 二．作用兆聲波清洗可去掉硅片表面上小于0.2μm的粒子,起到超聲波起不到的作用。這種方法能同時(shí)起到機(jī)械擦片和化學(xué)清洗兩種方法的作用。目前兆聲波清洗方法已成為拋光片清洗的一種有效方法。 三．結(jié)構(gòu)兆聲波清洗的結(jié)構(gòu)主要可以分為放著清洗晶片的石英槽體、保證在清洗過程溫度穩(wěn)定的溢流外槽、產(chǎn)生兆聲波的兆聲振盒及其發(fā)生器、保證清洗槽體內(nèi)溫度的在線加熱和根據(jù)設(shè)備使用中是否需要的自動(dòng)供酸系統(tǒng)，是否有其他結(jié)構(gòu)可根據(jù)實(shí)際使用來進(jìn)行添加。 四．使用原理 兆聲波清洗機(jī)是用在硅片清洗中的一種清洗技術(shù)，使用時(shí)首先要把清洗槽體和在線加熱內(nèi)注入適當(dāng)?shù)那逑吹囊后w，注入的的方法可根據(jù)廠方的注液方式分為手動(dòng)上液和自動(dòng)上液，上液完成之后打開在線加熱，使溫度達(dá)到使用溫度，溫度達(dá)到時(shí)...
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![行業(yè)新聞：湖南國科投資100億建常州集成電路生態(tài)產(chǎn)業(yè)園]( "行業(yè)新聞：湖南國科投資100億建常州集成電路生態(tài)產(chǎn)業(yè)園")
近日，常州集成電路生態(tài)產(chǎn)業(yè)園項(xiàng)目正式簽約落戶武進(jìn)國家高新區(qū)，計(jì)劃聚集全球一流的算法、芯片、固件、軟件、測(cè)試、工藝等研發(fā)團(tuán)隊(duì)入駐。市委書記汪泉出席并講話。據(jù)了解，該項(xiàng)目總投資100億元，總規(guī)劃面積約500畝。湖南國科控股有限公司將在武進(jìn)國家高新區(qū)組建系列芯片研發(fā)公司，主要從事驅(qū)動(dòng)芯片、可信計(jì)算、國密安全、多媒體芯片、通訊、人工智能等芯片設(shè)計(jì)業(yè)務(wù)。同時(shí)，在國家大基金對(duì)常州集成電路產(chǎn)業(yè)的支持下，國科控股將引進(jìn)其投資、參股的芯片公司或生態(tài)企業(yè)，牽頭成立可信計(jì)算聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室和院士工作站，聯(lián)合有關(guān)單位成立數(shù)字版權(quán)保護(hù)（DRM）研發(fā)、測(cè)試中心，打造4K內(nèi)容管理和運(yùn)營服務(wù)產(chǎn)業(yè)基地。汪泉在致辭中表示，集成電路是新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的核心，是新時(shí)期推進(jìn)經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展和保障國家安全的戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性、先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)。目前，常州正在推進(jìn)智慧城市、智能制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展，而集成電路是智慧城市和智能制造的大腦。我國在集成電路產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域和歐美等發(fā)達(dá)國家存在較大差距，必須加快推進(jìn)國內(nèi)在集成電路領(lǐng)域的自主創(chuàng)新和自主產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。汪泉說，作為國家信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)布局的集成電路設(shè)計(jì)企業(yè)，國科承擔(dān)了眾多國家重點(diǎn)科研項(xiàng)目，填補(bǔ)了眾多研發(fā)空白。企業(yè)此次在武進(jìn)布局集成電路生態(tài)產(chǎn)業(yè)園，是加快集成電路生態(tài)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重大舉措，為國家發(fā)展戰(zhàn)略作出貢獻(xiàn)。對(duì)常州、武進(jìn)而言，可以彌補(bǔ)在集成電路領(lǐng)域的發(fā)展短板，有助于地方拓展延伸集成電路的完整產(chǎn)業(yè)鏈，形成常武地區(qū)新的發(fā)...
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